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分子泵使用時(shí)也要注意監測其排氣口的壓力,避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過(guò)高,造成負荷過(guò)大,泵溫過(guò)高等
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島津Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303 LMC .Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303LMC 分子泵進(jìn)氣法蘭口VG200/ICF253/ISO200B ,出氣法蘭口KF40,TMP-1303MC島津磁懸浮分子泵對應的控制器為:Shimadzu EI-D1303M
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Shimadzu島津磁懸浮分子泵維修廠(chǎng)家,鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)設備泵保養
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臥式泵有兩組渦輪葉片,體積大,外殼形狀復雜,因而造價(jià)也較高。
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分子泵出現機封滲油
故障剖析:機封毀壞;密封性旋蓋未鋪平;裝配線(xiàn)部位不對。
解決方法:拆換機封;調節密封性旋蓋;再次按技術(shù)標準裝配線(xiàn)。